Mit meinem Aufbau bin ich noch nicht so oft wie gewünscht zum Stacken gekommen.
Diese Bewegungen sind bei meinem Aufbau durch die Toleranzen im Balgengerät, bzw. dessen Schlitten. Wen ich damit Probleme bekomme, würde ich eventuell mal dickeres Fett in den Lagerungen versuchen, oder dünnes Fett + Verringerung der Lagertoleranz. Ein Patentrezept habe ich da noch nicht.

Bei der Bewegung des Objektes stelle ich mir die Ausrichtungsproblematik sehr schwierig vor - und Toleranzen in der Messschraube um die zwei weniger wichtigen Achsen bei der Messung könnten auch problematisch sein.
Ideal sind sicher Schlitten aus der Mikroskopie oder Optikindustrie, zum Teil mit Schrittmotor. Allerdings würde ich diesen teuren Schritt mit meinem nicht idealen Aufbau gerne umgehen.

In welchem Vergrößerungsbereich arbeitest Du denn?